Wytrawianie

Wytrawianie plazmowe polega na “bombardowaniu” powierzchni reaktywnym gazem, który tworzy lotny związek z odrywanymi cząsteczkami, po czym zostaje odessany z komory.

 wytrawianie

Jeśli część powierzchni wytrawianego materiału (np. krzemu) zostanie przed procesem odpowiednio zamaskowana możliwe jest modelowanie trójwymiarowych struktur np. dla potrzeb mikromechaniki.

trawienie

Materiały najczęściej poddawane wytrawianu plazmą to:

– POM,

– PTFE,

– FEP,

– PFA

– krzem.

 

 

Możliwości plazmowej modyfikacji powierzchni:

Czyszczenie
Aktywacja
Powlekanie
Wytrawianie