W procesie powlekania plazmowego na całej powierzchni przedmiotu umieszczonego w komorze tworzy się bezbarwna i bezwonna warstwa polimeru o grubości od kilku do kilkudziesięciu mikronów.
W zależności od zastosowanej substancji (monomeru) powierzchnia uzyskuje nowe właściwości.
Najczęściej proces ten wykorzystywany jest do uzyskania powierzchni hydrofobowych ale możliwe jest również uzyskanie efektu dokładnie odwrotnego (warstwa hydrofilowa). Popularnymi powłokami są również monomery dzięki którym uzyskiwana jest warstwa ochronna odporna na ścieranie właściwościami zbliżona do PTFE (popularnie zwanego teflonem).
Monomer dostaje się do komory dzięki gazowi procesowemu a osadzając się na powierzchni przedmiotu tworzy na niej spójny polimer. Uzyskana jednorodna powłoka dokładnie pokrywa trójwymiarową powierzchnię bez efektu cieniowania, występującego w technologii standardowego rozpylania.
